盛美半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“盛美上海”)成立于2005年,是上海市政府科教興市項目重點引進的集成電路裝備企業,集研發、設計、制造、銷售于一體,為全球客戶提供高端半導體設備,連續多年被評為“中國半導體設備五強企業”,并先后承擔多個國家科技重大專項項目的主要課題的研發。主要產品有單晶圓及槽式濕法清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備、立式爐管設備、前道涂膠顯影設備及PECVD設備等。
盛美半導體設備研發與制造中心項目是上海東方芯港第一個集成電路拿地建設項目,占地面積64畝,總建筑面積是13.8萬平方米,規劃建成兩座研發樓、兩座高層潔凈廠房、一座輔助廠房,規劃生產產能超過600臺設備,年產值可達100億人民幣,將打造成盛美上海全球主要研發及生產基地。我司建設該中心智能化項目,建設內容涵蓋綜合布線系統、計算機網絡設備(含AP無線網)、視頻監控、門禁一卡通、電子巡更、多媒體會議、周界電子圍欄、數據中心機房等,所有系統為未來智慧園區平臺建設預留接口。
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